微差压传感器通常分为三类：压阻式传感器、电容式传感器和微机电 (MEMS) 传感器。

1、压阻式传感器

压阻式传感器通常由硅制成，通过金属间的粘结作用接合到钢基板上。当施加应力时，这种单晶膜片就会发生形变，进而使惠斯通电桥中的电阻检测到压力，然后按比例输出电压。压阻式传感器具有良好的分辨率和带宽，适合预算不宽裕的应用。

但是这种传感器也有其局限性。它们对温度变化很敏感，并且容易漂移。更严重的是，这类传感器无法提供足够大的面积来感应压力以产生有效的膜片形变。当然膜片可以做得更薄一些，但是这会降低其强度和完整性，同时也增加了成本。当用于低压测量时，测量结果噪杂，长期稳定性差。因此这类传感器更适合高压测量。

2、电容式传感器

基于电容的压力传感器已经成为压力测量应用的主流。相对于压阻式压力传感器，电容式压力传感器具备更高的压力灵敏度和更低的温度灵敏度。

其它优点还包括：设计简单、无需使用特殊材料、低能耗、高分辨率和低成本。

电容式传感器包括一个紧凑外壳和内部两片平行放置的绝缘金属板。其中一片金属板采用金属膜片，能够在压力作用下发生轻微形变，另一片为绝缘的不锈钢电极。当在金属膜片上施加压力差时，金属膜片将相对固定电极发生位移，从而使电容发生变化。线性比较电路检测到所产生的电容变化，成正比地放大并输出高电平电压信号。金属膜片的形变量极小，有利于减小迟滞和重复误差，加快响应速度。

3、微机电 (MEMS) 传感器

MEMS(Microelectro Mechanical Systems)传感器是一种常见的电容式传感器。它通过微影蚀刻技术在硅基板上蚀刻执行器、机械部件和电子器件，从而可以低廉地大批量制造。此外，其体积也在不断缩小，其膜片面积小至13mm²级别。

然而，这种小型化趋势也限制了性能，例如不灵敏、不精确和信号漂移。由于由脆性材料制成，MEMS传感器在高应力下易于断裂，无法承受过大的受力。电容式MEMS传感器的最大局限在于，小型化限制了其在高压应用中的压力灵敏度。

阿尔法仪器是一家专业研发生产微差压传感器，微差压变送器的厂家，我们的差压传感器具有卓越的性能价格比，广泛应用于各种工业自控环境，涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉负压等众多行业。