阿尔法(Alpha)差压传感器微差压传感器领域技术引领者

美国阿尔法微差压传感器在半导体领域主要用于高精度环境控制与工艺监测：

• 洁净室压差管理‌：监测不同洁净等级区域间的微小压差（通常0-100Pa），维持单向气流防止污染扩散，确保ISO 1-5级洁净度；

• 刻蚀与沉积工艺控制‌：实时反馈反应腔体与外部气压差（如0-1kPa），优化气体流量及真空度，保障晶圆表面处理的均匀性；

• 设备健康诊断‌：通过检测气体管路或过滤系统的压差变化，预警堵塞、泄漏等故障，减少停机风险。

其特性（±0.5%FS精度、抗化学腐蚀）能适配半导体严苛环境，直接提升良品率与生产稳定性，是智能制造的关键传感元件之一。